Brooks气体质量流量计

七星华创质量流量控制器流量计  
质量流量控制器和质量流量计使用手册1.使用须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的D07系列质量流量控制器/质量流量计产品。本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有标志的文字及注意事项中包含的所有内容。对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。本手册对您安装、维护及故障维修时，请妥善留存保管。2.用途和特点质量流量计(MassFlowMeter缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(MassFlowController缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作),其操作使用方便,可任意位置安装,并便于与计算机连接实现自动控制。D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接  
七星华创质量流量控制器流量计  
3.主要技术指标表1.D07-19B型MFC性能指标编号项目D07-19B1流量规格(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM2准确度±1%F.S.(20,30SLM:±2%F.S.)3线性±0.5%F.S.(20,30SLM:±2%F.S.)4重复精度±0.2%F.S.5响应时间≤2sec6工作压差范围≤10SLM：0.1~0.5MPa(14.5~72.5psid)＞10SLM：0.1~0.3MPa(14.5~43.5psid)7z大工作压力1MPa8耐压3MPa(435.1psig)9工作环境温度5℃~45℃10输入输出信号0V~+5.00V(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA)11电源+15V50mA;-15V200mA12外形尺寸见图413重量0.95kg注意:质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);SLM(标准升/分)标准状态规定为:温度---273.15K(0℃);气压—101325Pa(760mmHg)在七星流量计MFC/MFM产品中心，单位SCCM和“mL/min,0℃,1atm”等同，单位SLM和“L/min,0℃,1atm”等同。第4页共28页F.S.(FullScale):满量程值表2.D07-19BM型MFM性能指标编号项目D07-19BM1流量规格(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM2准确度±1%F.S.(20,30SLM:±2%F.S.)3线性±0.5%F.S.(20,30SLM:±2%F.S.)4重复精度±0.2%F.S.5响应时间≤2sec6气压降<0.02MPa(2.9psid)7z大工作压力1MPa8耐压10MPa(1450.4psig)9工作环境温度5℃~45℃10输出信号0V~+5.00V(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA)11电源+15V50mA－15V50mA12外形尺寸见图413重量0.7kg各型号产品的主要技术指标见表1和表2。D07-19BM型是D07-19B型的流量测量部分，同类型的MFM与MFC在流量计量部分的技术指标相同。4.结构和工作原理4.1结构质量流量计由流量传感器,分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了质量流量控制器。D07-19B型质量流量控制器,打开外罩后的结构如图2所示。
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