品牌上海纳动纳米位移技术有限公司 | 有效期至长期有效 | 最后更新2022-05-26 15:06 |
分辨率3 nm | 谐振频率(0g)(X)450Hz、(Y)350 Hz | 承载能力50 N |
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X、Y轴压电陶瓷纳米台-上海纳动纳米位移技术有限公司
产品描述
PS2L150-300U系列的设计平台将压电定位系统的高精度和高速与特殊的致动设计相结合,以实现长行程运动。此外,本产品设计用于大负载承载下的高速运动。
压电陶瓷纳米平台的超扁平设计以及将平台与xy扫描系统结合的简便方法,使该系统适用于多种应用。基于独特的压电双向致动设计,该系列可移动分辨率为3 nm的高负载质量运动。
压电平台的双向驱动设计还确保了出色的柔性导向精度,而不会产生寄生运动,并以主动方式缩短了建立时间。
该平台可配备高分辨率反馈系统,用于闭环控制。应用领域包括高分辨率计量,x和xy扫描以及动态定位。这些平台也有低温和真空版本。
推荐的压电控制器为基于双向驱动方式,所需的压电控制器单元需要支持双向驱动原理,具体请联系销售工程师。
产品特性
—XY轴双向高速运动
—承载物体50N
—双向驱动结构设计
—XY行程300μm
选配功能
—可定制安装孔位、固定孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供X版本
应用领域
—原子力显微镜、扫描探针显微镜
—干涉测量、计量
—光学探针、光学扫描、光束对准
—微流体技术
PS2L150-300U系列的设计平台将压电定位系统的高精度和高速与特殊的致动设计相结合,以实现长行程运动。此外,本产品设计用于大负载承载下的高速运动。
压电陶瓷纳米平台的超扁平设计以及将平台与xy扫描系统结合的简便方法,使该系统适用于多种应用。基于独特的压电双向致动设计,该系列可移动分辨率为3 nm的高负载质量运动。
压电平台的双向驱动设计还确保了出色的柔性导向精度,而不会产生寄生运动,并以主动方式缩短了建立时间。
该平台可配备高分辨率反馈系统,用于闭环控制。应用领域包括高分辨率计量,x和xy扫描以及动态定位。这些平台也有低温和真空版本。
推荐的压电控制器为基于双向驱动方式,所需的压电控制器单元需要支持双向驱动原理,具体请联系销售工程师。
产品特性
—XY轴双向高速运动
—承载物体50N
—双向驱动结构设计
—XY行程300μm
选配功能
—可定制安装孔位、固定孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供X版本
应用领域
—原子力显微镜、扫描探针显微镜
—干涉测量、计量
—光学探针、光学扫描、光束对准
—微流体技术